典型的摩托罗拉MPX系列硅压力传感器就是据此制造的具有灵敏度高、线性度好、精度高、临时重复性好的特点。

单晶硅片中央蚀刻正方形的膜片X型硅压力传感器结构。

并用离子注入工艺制作出四个X型排列的压敏电阻作为上方压力接受区。

传感器所测压力为压力，当腐蚀腔为真空时。当腐蚀下方一小孔时，则成为差压传感器。与一般的压阻传感器不同的

X型电阻的两端加一偏置电压，四个压敏电阻并没组成惠斯通电桥。形成一个电流，当有剪切应力作用时，

电场变化引起电位变化，将会发生一个垂直于电流方向的电场。X型电阻的另两面三刀端可得到由被测压力引起的输出电压

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